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        離子滲氮過程中，爐內壓力穩(wěn)定是保證滲氮質量的重要因素。離子滲氮壓力自動控制有兩種控制方式：
        （1）變頻控制：
        由真空計、工控機、變頻器和真空泵電動機組成爐內壓力閉環(huán)自動控制系統(tǒng)，采用PID自動調節(jié)真空泵的轉速來實現爐內壓力自動控制。
        （2）比例調節(jié)閥：
        由真空計、工控機、比例調節(jié)閥組成爐內壓力閉環(huán)自動控制系統(tǒng)，采用PID自動調節(jié)，通過調節(jié)蝶閥的開啟角度改變真空泵的抽氣速率來實現爐內壓力自動控制。
        由于國外多采用高速直聯真空泵，無法進行變頻調速，所以國外多通過比例調節(jié)閥自動控制爐內的壓力。
        青島豐東熱處理生產的離子滲氮設備配備二級真空系統(tǒng)，通過工控機、PLC，自動整定PID參數，使外輔助加熱式離子氮化爐內壓力實現閉環(huán)自動化控制，壓力穩(wěn)定無突變。